真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。
真空泵主要技術性能（真空度等）達到設計要求或滿足工藝要求，附屬設備（冷凝器等）齊全；沒備運轉平穩，聲響正常，無過熱現象，封閉良好。
真空泵設備潤滑系統完好，潤滑油質符合規定要求，并定期進行檢查，換油。各種儀表（如真空表等）指示值正確，并定期進行校驗；各閥門啟閉靈活、密封良好，無泄漏現象；管道無泄漏，并定期進行檢查。電動機配備合理，運行正常（溫升和聲響正常），電氣線路安全可靠，有接地保護措施，電氣裝置（控制柜）可靠，電氣儀表指示正確；安全防護裝置齊全可。設備及冷卻系統設施整潔，無銹蝕。
真空泵冷卻系統運行正常，冷卻裝置完好，排水溫度不超過規定要求，應有斷水保護裝置。一般來說所用的工作液都是水。礦用單軸振動篩作用在轉子葉輪上的能量被液體接收并傳給被壓縮的氣體，這樣就造成了水環的溫度升高。水環的部分水與氣體一起壓縮排除泵外。在壓縮過程中產生的大部分熱量被帶走。因而需要不斷的補充新鮮的水，以使水環泵的工作溫度能夠維持恒定。
在多數的真空泵中，其工作溫度約為15-20℃，它取決于所補充水的溫度。實際上，水環泵的極限壓力并不十分重要，因為不同的液體，在壓力低于50-60hPa時，會發生氣蝕現象，泵的部件會遭到損壞。當泵接近極限壓力時，抽速很低，泵入口處的水開始沸騰。當轉至泵的出口時，形成的氣泡開始破裂。這樣就會產生很大的噪聲，同時泵的驅動輪和泵腔等部件被逐漸破壞。這種現象通常稱作氣蝕現象。一旦氣蝕現象發生，就要通過小閥引入少量的新鮮空氣。振動篦板在這種情況下，在入口官道上開個小孔，以便定量地加入些新鮮的其他，如果使用氣體噴射器，氣蝕現象就不會產生了。
